【ITBEAR】近日,ASML新任CEO透露,两台售价约3.5亿美元的High NA EUV光刻机已在英特尔完成安装。作为全球最尖端且价格最高的光刻机,High NA EUV被视为EUV光刻机的升级版,而非全新产品,预计其推出和采用将相对迅速。
然而,台积电因成本考虑,至今尚未接纳High NA EUV。此举被外界视为与ASML进行条件谈判的策略。
去年年底,EUV光刻机已运抵英特尔位于俄勒冈州的D1X工厂,计划于2025年年底投入生产。
ASML此前展示的EUV光刻机内部画面引起了广泛关注,甚至有网友担忧国产厂商可能进行逆向复刻。