【ITBEAR】近日，一台国产光刻机的性能数据引发了广泛关注。据悉，该光刻机拥有高达65nm的分辨率和8nm的套刻精度，标志着我国在干式DUV光刻机领域取得了显著进展，离更为先进的浸润式DUV光刻机技术也仅一步之遥。
尽管国产光刻机展现出令人瞩目的性能，但与国际巨头ASML相比，仍存在不小的差距。ASML早在20年前就已成功研发出浸润式DUV光刻机，这意味着在光刻机技术领域，我国与ASML的差距可能长达20年。
然而，回顾历史不难发现，我国在光刻机研发方面的起步时间其实远早于ASML。早在上世纪60年代，我国便开始了光刻机的研发工作，并在1965年成功研制出65型接触式光刻机。彼时，ASML尚未成立。
那么，究竟是什么原因导致了我国在光刻机技术领域与ASML的差距逐渐拉大呢？这背后主要有两大原因。
首先，受1971年中美建交影响，美国曾向我国提供了一系列高精尖技术产品，使得我国在一定程度上减缓了自主研发的步伐。当时，“造不如买”的观念盛行，导致一些具有挑战性、投入大的研发项目被搁置，光刻机的研发工作也受到了影响。
其次，ASML的光刻机技术并非凭借一己之力研发而成。ASML汇聚了欧美众多国家和地区的科技力量，还得到了台积电、三星、Intel等巨头的支持。例如，浸润式光刻机的研发便得益于台积电林本坚提供的创新思路。相比之下，我国在光刻机研发过程中则面临着欧美技术封锁的困境，无法充分整合全球先进供应链资源，只能依靠自身力量进行突破。
尽管如此，随着近年来国产半导体产业链的蓬勃发展以及科技实力的不断提升，国产光刻机在关键技术、零部件等方面均取得了显著突破。我们有理由相信，在不久的将来，浸润式DUV光刻机甚至EUV光刻机都将有望在我国实现量产。这将为我国芯片产业摆脱外部打压、实现自主可控奠定坚实基础。
