在近日召开的国际微电子领域顶级盛会——第70届IEDM年度会议上,浙江驰拓科技以其卓越的科研成果惊艳全场。该公司在SOT-MRAM(自旋轨道矩磁性随机存取存储器)技术领域取得了重大突破,成功解决了制约该技术大规模生产的核心难题。
驰拓科技独创性地提出了一种全新的无轨道垂直型SOT-MRAM器件结构,这一创新设计极大地简化了SOT-MRAM的制造工艺流程,并从根本上提升了器件的良率。相较于传统方案,这一结构的最大亮点在于将MTJ巧妙地置于两个底部电极之间,并巧妙地利用了过刻蚀技术,从而显著拓宽了刻蚀窗口,降低了工艺难度。
得益于这一突破性设计,12英寸晶圆上的SOT-MRAM器件位元良率实现了质的飞跃,从原先的99.6%飙升至超过99.9%,完全满足了大规模生产的高标准要求。这一成就不仅彰显了驰拓科技在技术研发方面的深厚实力,更为SOT-MRAM技术的广泛应用奠定了坚实基础。
传统方案与驰拓科技的创新方案形成了鲜明对比。传统方案在刻蚀过程中面临着良率低的难题,而驰拓科技的方案则通过结构优化,成功克服了这一挑战。
除了良率的显著提升,驰拓科技的SOT-MRAM器件还展现出了卓越的性能。该器件的写入速度达到了惊人的2纳秒,写入/擦除操作次数更是超过了1万亿次(测量时间上限),且具备持续微缩的潜力。这些性能指标不仅满足了当前高性能存储技术的需求,更为未来技术的发展预留了充足的空间。
SOT-MRAM作为一种高性能非易失存储技术,因其纳秒级写入速度和无限次擦写次数而备受瞩目。该技术有望成为CPU各级缓存的理想替代方案,从而有效解决当前SRAM成本高昂及静态功耗过高等问题。然而,SOT-MRAM在器件制造工艺上的高挑战性一直制约着其大规模生产与应用。驰拓科技的这一突破性成果无疑为SOT-MRAM技术的未来发展开辟了广阔的道路。