优可测公司近日正式推出了其全新旗舰产品——白光干涉仪AM8000,该产品在完成上海慕尼黑光博会的内部客户体验会后,备受瞩目。这款干涉仪的测量精度达到了亚纳米级别,能够精确获取各种精密零件及材料表面的3D形貌,测量精度小于1nm。
AM8000在应用场景、智能化操作以及测量稳定性方面,均展现出了与世界顶级品牌旗舰产品相媲美的实力。这一突破标志着中国品牌在高精度白光干涉测量领域取得了核心技术上的重大进展,为中国智能制造产业的发展注入了新的动力。
在适配镜头与测量样品方面,AM8000展现了其卓越的性能。与市面上常见的短焦距、小视野镜头不同,AM8000支持更多倍率的镜头,包括1X的长焦距、大视野镜头,其单视野可达18×11mm,能够很好地满足大范围测量的需求。5X和10X的长焦距镜头,焦距分别可达40mm和22mm,能够实现对喷油嘴等大孔深样品的测量。镜头的多样化选择,使得AM8000能够满足更多特殊零件的测量需求。
在硬件配置上,AM8000搭载了4自由度直驱电控平台,其XY行程最大可达300mm,负载能力提升2.5倍,移动拼接速度提升30%,定位精度提升3倍。电控平台在实现大行程的同时,仍能保持运动直线度达到±1um,角摆≤5角秒。AM8000还可加装旋转平台,满足晶圆Mapping测量的需求。
AM8000在智能化操作方面也表现出色。其新增的循环测量、批量导出测量报告、对焦曲线、提取评比ROI等功能,以及超过300种测量工具,如面粗糙度、轮廓分析、纹理方向、粒子分析等,能够更好地满足各行业的应用需求。AM8000还推出了“PreciTrack条纹自动对焦”和“EquiDrive自动调平”功能,分别能在5秒内完成对焦和调平,大大提高了操作效率。
在大尺寸零件测量方面,AM8000拥有丰富的拼接方式,如方环形、圆形、圆环形等,工程师只需输入数值,即可自动生成所需的拼接区域。在样品批量测量时,AM8000支持多点位的编程测量,能够基于样品位置自动跑位进行测量,无需每次手动放置样品。AM8000还增加了控制器模块,将平台移动、光源调节、调焦等功能集成到控制器上,一键即可完成常规操作,提高了50%的工作效率。
在测量稳定性方面,AM8000采用了内置式气浮缓冲机构和独创的低重心设计,将整个隔振机构和工作台包裹住,大幅降低了环境振动对设备的影响。经过测试,AM8000的隔振稳定性提升了2.7倍,RMS重复性可达0.0041nm。
AM8000还配置了5000um大量程压电陶瓷和500万像素高速相机,配合行业首创的SST+GAT算法,支持PSI(相移扫描)+VSI(垂直扫描),能够瞬间完成亚纳米级数据采集。这使得AM8000在新能源、汽车、3C电子、半导体、精密光学、微纳加工、医疗器械、摩擦磨损等领域有着广泛的应用前景。